Στόχοι εκτόξευσης τιτανίου

Είδος

Προσδιορισμός

Υλικό

Εμπορικά καθαρό τιτάνιο (Grade 1, Grade 2) ή κράματα τιτανίου

Καθαρότητα

3N5 (99,95%), 4N (99,99%), 4N5 (99,995%), 5N (99,999%) για ημιαγωγούς

Πυκνότητα

Μεγαλύτερο ή ίσο με 4,51 g/cm³

Ελεγχόμενες ακαθαρσίες

Fe, Cr, Ni, O, N, C, H (ελεγχόμενη ανά βαθμό καθαρότητας)

Σχήματα

Στρογγυλά, ορθογώνια, περιστροφικά (κυλινδρικά), προσαρμοσμένα προφίλ

Μέγεθος

Ø50 – Ø300 mm, πάχος 3–10 mm, μήκος: 4000 mm

Επιλογές συγκόλλησης

Πλάκα στήριξης από χαλκό ή αλουμίνιο, μηχανική σύσφιξη, μονολιθική

Φινίρισμα επιφάνειας

Μηχανικά επεξεργασμένο, αμμοβολή, γυαλισμένο,-καθαρισμένο με οξύ, συσκευασία υπό κενό

Οχι.

Υλικό

Σύνθεση

Βασικά Χαρακτηριστικά

Τυπικές Εφαρμογές

1

CP Titanium (Gr1 / Gr2)

Μεγαλύτερο ή ίσο με 99,5% Ti

Χαμηλές ακαθαρσίες, σταθερό ψεκασμό

Ηλεκτρονικά, διακοσμητικά επιχρίσματα

2

Τιτάνιο υψηλής καθαρότητας (4N / 5N)

Μεγαλύτερο ή ίσο με 99,99% Ti

Εξαιρετικά-καθαρές ταινίες

Ημιαγωγοί, οπτικές επιστρώσεις

3

Στόχος Ti-6Al-4V

Ti-6Al-4V

Εναπόθεση φιλμ κράματος, υψηλή αντοχή

Λειτουργικές και δομικές επιστρώσεις

4

Στόχος TiAl / TiAl3

30–50% Αλ

Παράγει TiAlN υπερ-σκληρές επικαλύψεις

Εργαλεία κοπής, καλούπια

5

TiN Ceramic Target

Ti + N

Καταθέτει χρυσές-μεμβράνες TiN

Αντοχή στη φθορά, διακοσμητικές επιστρώσεις

6

Στόχος TiSi2

Ti:Si ≈ 1:2

Πυριτικά φιλμ χαμηλής ειδικής αντίστασης

Επαφές και πύλες ημιαγωγών